CCDイメージセンサを用いるダイナミツクイメージング分光エリプソメータの試作

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Material Type: 図書
Title: CCDイメージセンサを用いるダイナミツクイメージング分光エリプソメータの試作
Title Transcription: CCD イメージセンサオモチイルダイナミツクイメージングブンコウエリプソメータノシサク
Author/Editor: 杉本, 克久, 東北大学
Author Heading: 杉本, 克久スギモト, カツヒサ
Publication Date: 1998-2000
Publication Date (W3CDTF): 1998
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: イメージングイメージング
分光エリプソメータブンコウエリプソメータ
CCDセンサ CCDセンサ
膜厚マクアツ
光学定数コウガクテイスウ
空間分布クウカンブンプ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10555238
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H10555238
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007072140
http://id.ndl.go.jp/bib/000007072140
Bibliographic Record Category (NDL): 214