CCDイメージセンサを用いるダイナミツクイメージング分光エリプソメータの試作

• Material Type: 図書
• Title: CCDイメージセンサを用いるダイナミツクイメージング分光エリプソメータの試作
• Title Transcription: CCD イメージセンサ オ モチイル ダイナミツクイメージング ブンコウ エリプソメータ ノ シサク
• Author/Editor: 杉本, 克久, 東北大学
• Author Heading: 杉本, 克久 スギモト, カツヒサ
• Publication Date: 1998-2000
• Publication Date (W3CDTF): 1998
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: イメージング イメージング; 分光エリプソメータ ブンコウエリプソメータ; CCDセンサ CCDセンサ; 膜厚 マクアツ; 光学定数 コウガクテイスウ; 空間分布 クウカンブンプ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10555238
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H10555238
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007072140; http://id.ndl.go.jp/bib/000007072140
• Bibliographic Record Category (NDL): 214