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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- チョウコウシツ チッカブツ ゴウセイ ノ タメ ノ コウミツド ヘリコンハ プラズマレイキ ・ チョウカッセイ カセイマク プロセス ノ カイハツ
- 著者・編者
- 節原, 裕一, 大阪大学
- 著者標目
- 節原, 裕一 セツハラ, ユウイチ
- 出版年月日等
- 1998-1999
- 出版年（W3CDTF）
- 1998
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(B)
- 件名標目
- ヘリコン波プラズマ ヘリコンハプラズマ活性化反応場 カツセイカハンノウバ反応性高密度プラズマ ハンノウセイコウミツドプラズマ超硬質窒化物 チヨウコウシツチツカブツ