超硬質窒化物合成のための高密度ヘリコン波プラズマ励起・超活性化成膜プロセスの開発

• Material Type: 図書
• Title: 超硬質窒化物合成のための高密度ヘリコン波プラズマ励起・超活性化成膜プロセスの開発
• Title Transcription: チョウコウシツ チッカブツ ゴウセイ ノ タメ ノ コウミツド ヘリコンハ プラズマレイキ ・ チョウカッセイ カセイマク プロセス ノ カイハツ
• Author/Editor: 節原, 裕一, 大阪大学
• Author Heading: 節原, 裕一 セツハラ, ユウイチ
• Publication Date: 1998-1999
• Publication Date (W3CDTF): 1998
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: ヘリコン波プラズマ ヘリコンハプラズマ; 活性化反応場 カツセイカハンノウバ; 反応性高密度プラズマ ハンノウセイコウミツドプラズマ; 超硬質窒化物 チヨウコウシツチツカブツ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10558065
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H10558065
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007072373; http://id.ndl.go.jp/bib/000007072373
• Bibliographic Record Category (NDL): 214