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液面上の直流プラズマを利用する新しいCVD法の開発

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液面上の直流プラズマを利用する新しいCVD法の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H11305052
国立国会図書館書誌ID
000007072471
資料種別
図書
著者
鈴木, 健之, 東京農工大学
出版者
-
出版年
1999-2000
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
エキメン ジョウ ノ チョクリュウ プラズマ オ リヨウ スル アタラシイ CVD ホウ ノ カイハツ
著者・編者
鈴木, 健之, 東京農工大学
著者標目
鈴木, 健之 スズキ, タケユキ
出版年月日等
1999-2000
出版年(W3CDTF)
1999
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(A)
件名標目
直流プラズマ チヨクリユウプラズマ
化学気相析出法 カガクキソウセキシユツホウ
プラズマジエツト プラズマジエツト
ダイヤモンド ダイヤモンド
CVD CVD