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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- エキメン ジョウ ノ チョクリュウ プラズマ オ リヨウ スル アタラシイ CVD ホウ ノ カイハツ
- Author/Editor
- 鈴木, 健之, 東京農工大学
- Author Heading
- 鈴木, 健之 スズキ, タケユキ
- Publication Date
- 1999-2000
- Publication Date (W3CDTF)
- 1999
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(A)