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図書

水素を利用したシリコン中の高温点欠陥研究及び二次欠陥フリー単結晶育成法の開発

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水素を利用したシリコン中の高温点欠陥研究及び二次欠陥フリー単結晶育成法の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H11450001
国立国会図書館書誌ID
000007072670
資料種別
図書
著者
末澤, 正志, 東北大学
出版者
-
出版年
1999-2000
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
スイソ オ リヨウ シタ シリコン チュウ ノ コウオンテン ケッカン ケンキュウ オヨビ ニジ ケッカン フリータンケッショウ イクセイホウ ノ カイハツ
著者・編者
末澤, 正志, 東北大学
著者標目
末澤, 正志 スエザワ, マサシ
出版年月日等
1999-2000
出版年(W3CDTF)
1999
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
シリコン シリコン
水素 スイソ
点欠陥 テンケツカン
原子空孔 ゲンシクウコウ
自己格子間原子 ジココウシカンゲンシ
複合体 フクゴウタイ
電子線照射 デンシセンシヨウシヤ
急冷 キユウレイ