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水素を利用したシリコン中の高温点欠陥研究及び二次欠陥フリー単結晶育成法の開発

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水素を利用したシリコン中の高温点欠陥研究及び二次欠陥フリー単結晶育成法の開発

Call No. (NDL)
Y151-H11450001
Bibliographic ID of National Diet Library
000007072670
Material type
図書
Author
末澤, 正志, 東北大学
Publisher
-
Publication date
1999-2000
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
スイソ オ リヨウ シタ シリコン チュウ ノ コウオンテン ケッカン ケンキュウ オヨビ ニジ ケッカン フリータンケッショウ イクセイホウ ノ カイハツ
Author/Editor
末澤, 正志, 東北大学
Author Heading
末澤, 正志 スエザワ, マサシ
Publication Date
1999-2000
Publication Date (W3CDTF)
1999
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
シリコン シリコン
水素 スイソ
点欠陥 テンケツカン
原子空孔 ゲンシクウコウ
自己格子間原子 ジココウシカンゲンシ
複合体 フクゴウタイ
電子線照射 デンシセンシヨウシヤ
急冷 キユウレイ