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シランプラズマ中のSiクラスタの成長機構に関する研究

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シランプラズマ中のSiクラスタの成長機構に関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H11450037
国立国会図書館書誌ID
000007072686
資料種別
図書
著者
渡辺, 征夫, 九州大学
出版者
-
出版年
1999-2000
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
シランプラズマ チュウ ノ Si クラスタ ノ セイチョウ キコウ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
渡辺, 征夫, 九州大学
著者標目
渡辺, 征夫 ワタナベ, ユキオ
出版年月日等
1999-2000
出版年(W3CDTF)
1999
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
Siクラスタ SIクラスタ
シランプラズマ シランプラズマ
光劣化 ヒカリレツカ
熱泳動力 ネツエイドウリヨク
変調放電法 ヘンチヨウホウデンホウ
水素希釈 スイソキシヤク
核形成 カクケイセイ
水素化アモルフアスシリコン スイソカアモルフアスシリコン