シランプラズマ中のSiクラスタの成長機構に関する研究

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Material Type: 図書
Title: シランプラズマ中のSiクラスタの成長機構に関する研究
Title Transcription: シランプラズマチュウノ Si クラスタノセイチョウキコウニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 渡辺, 征夫, 九州大学
Author Heading: 渡辺, 征夫ワタナベ, ユキオ
Publication Date: 1999-2000
Publication Date (W3CDTF): 1999
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: Siクラスタ SIクラスタ
シランプラズマシランプラズマ
光劣化ヒカリレツカ
熱泳動力ネツエイドウリヨク
変調放電法ヘンチヨウホウデンホウ
水素希釈スイソキシヤク
核形成カクケイセイ
水素化アモルフアスシリコンスイソカアモルフアスシリコン
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11450037
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H11450037
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007072686
http://id.ndl.go.jp/bib/000007072686
Bibliographic Record Category (NDL): 214