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マイクロ気流センサの開発と流体制御への応用

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マイクロ気流センサの開発と流体制御への応用

国立国会図書館請求記号
Y151-H11450099
国立国会図書館書誌ID
000007072714
資料種別
図書
著者
安田, 隆, 東京大学
出版者
-
出版年
1999-2000
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
タイトル
マイクロ気流センサの開発と流体制御への応用
タイトルよみ
マイクロ キリュウ センサ ノ カイハツ ト リュウタイ セイギョ ヘ ノ オウヨウ
著者・編者
安田, 隆, 東京大学
著者標目
安田, 隆 ヤスダ, タカシ
出版年月日等
1999-2000
出版年（W3CDTF）
1999
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
MEMS MEMS
気流センサ キリユウセンサ
流速センサ リユウソクセンサ
マイクロセンサ マイクロセンサ
マイクロマシン マイクロマシン
ひずみゲーシ゜ ヒズミゲーシ゜