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マイクロ気流センサの開発と流体制御への応用

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マイクロ気流センサの開発と流体制御への応用

Call No. (NDL)
Y151-H11450099
Bibliographic ID of National Diet Library
000007072714
Material type
図書
Author
安田, 隆, 東京大学
Publisher
-
Publication date
1999-2000
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
マイクロ キリュウ センサ ノ カイハツ ト リュウタイ セイギョ ヘ ノ オウヨウ
Author/Editor
安田, 隆, 東京大学
Author Heading
安田, 隆 ヤスダ, タカシ
Publication Date
1999-2000
Publication Date (W3CDTF)
1999
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
MEMS MEMS
気流センサ キリユウセンサ
流速センサ リユウソクセンサ
マイクロセンサ マイクロセンサ
マイクロマシン マイクロマシン
ひずみゲーシ゜ ヒズミゲーシ゜