デジタル制御低温プラズマMOCVD法によるPZT完全結晶薄膜の創製と薄膜形成機構

• 資料種別: 図書
• タイトル: デジタル制御低温プラズマMOCVD法によるPZT完全結晶薄膜の創製と薄膜形成機構
• タイトルよみ: デジタル セイギョ テイオン プラズマ MOCVD ホウ ニ ヨル PZT カンゼン ケッショウ ハクマク ノ ソウセイ ト ハクマク ケイセイ キコウ
• 著者・編者: 篠崎, 和夫, 東京工業大学
• 著者標目: 篠崎, 和夫 シノザキ, カズオ
• 出版年月日等: 1999-2000
• 出版年（W3CDTF）: 1999
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: デジタル制御MOCVD デジタルセイギヨMOCVD; バツフアー層 バツフアーソウ; 組成傾斜膜 ソセイケイシヤマク; 残留応力 ザンリユウオウリヨク; Pb (Zr, Ti) O3 (PZT) PB (ZR, TI) O3 (PZT); PbTiO3 PBTIO3; PbZrO3 PBZRO3; Nb-SrTiO3 NB-SRTIO3
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 11450242
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H11450242
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007072767; http://id.ndl.go.jp/bib/000007072767
• 整理区分コード: 214