デジタル制御低温プラズマMOCVD法によるPZT完全結晶薄膜の創製と薄膜形成機構

• Material Type: 図書
• Title: デジタル制御低温プラズマMOCVD法によるPZT完全結晶薄膜の創製と薄膜形成機構
• Title Transcription: デジタル セイギョ テイオン プラズマ MOCVD ホウ ニ ヨル PZT カンゼン ケッショウ ハクマク ノ ソウセイ ト ハクマク ケイセイ キコウ
• Author/Editor: 篠崎, 和夫, 東京工業大学
• Author Heading: 篠崎, 和夫 シノザキ, カズオ
• Publication Date: 1999-2000
• Publication Date (W3CDTF): 1999
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: デジタル制御MOCVD デジタルセイギヨMOCVD; バツフアー層 バツフアーソウ; 組成傾斜膜 ソセイケイシヤマク; 残留応力 ザンリユウオウリヨク; Pb (Zr, Ti) O3 (PZT) PB (ZR, TI) O3 (PZT); PbTiO3 PBTIO3; PbZrO3 PBZRO3; Nb-SrTiO3 NB-SRTIO3
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11450242
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H11450242
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007072767; http://id.ndl.go.jp/bib/000007072767
• Bibliographic Record Category (NDL): 214