平面状表面波プラズマを用いた大面積ダイヤモンド薄膜生成に関する研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 平面状表面波プラズマを用いた大面積ダイヤモンド薄膜生成に関する研究
• タイトルよみ: ヘイメンジョウ ヒョウメンハ プラズマ オ モチイタ ダイ メンセキ ダイヤモンド ハクマク セイセイ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 永津, 雅章, 名古屋大学
• 著者標目: 著者 ： 永津, 雅章 ナガツ, マサアキ ( 01196260 )典拠
• 出版年月日等: 1999-2000
• 出版年（W3CDTF）: 1999
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: 表面波プラズマ ヒヨウメンハプラズマ; マイクロ波プラズマ マイクロハプラズマ; プラズマCVD プラズマCVD; アモルフアスカーボン膜 アモルフアスカーボンマク; ダイヤモンド薄膜 ダイヤモンドハクマク; 電子エミツター デンシエミツター; 電子電界放出 デンシデンカイホウシユツ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 11480106
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H11480106
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007073110; http://id.ndl.go.jp/bib/000007073110
• 整理区分コード: 214