平面状表面波プラズマを用いた大面積ダイヤモンド薄膜生成に関する研究

• Material Type: 図書
• Title: 平面状表面波プラズマを用いた大面積ダイヤモンド薄膜生成に関する研究
• Title Transcription: ヘイメンジョウ ヒョウメンハ プラズマ オ モチイタ ダイ メンセキ ダイヤモンド ハクマク セイセイ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 永津, 雅章, 名古屋大学
• Author Heading: 著者 ： 永津, 雅章 ナガツ, マサアキ ( 01196260 )Authorities
• Publication Date: 1999-2000
• Publication Date (W3CDTF): 1999
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: 表面波プラズマ ヒヨウメンハプラズマ; マイクロ波プラズマ マイクロハプラズマ; プラズマCVD プラズマCVD; アモルフアスカーボン膜 アモルフアスカーボンマク; ダイヤモンド薄膜 ダイヤモンドハクマク; 電子エミツター デンシエミツター; 電子電界放出 デンシデンカイホウシユツ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11480106
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H11480106
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007073110; http://id.ndl.go.jp/bib/000007073110
• Bibliographic Record Category (NDL): 214