図書

微細三次元加工形状の光逆散乱ナノインプロセス計測装置の開発

図書を表すアイコン

微細三次元加工形状の光逆散乱ナノインプロセス計測装置の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H11555043
国立国会図書館書誌ID
000007073220
資料種別
図書
著者
三好, 隆志, 大阪大学
出版者
-
出版年
1999-2000
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
すべて見る

資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

書店で探す

書誌情報

この資料の詳細や典拠(同じ主題の資料を指すキーワード、著者名)等を確認できます。

資料種別
図書
タイトルよみ
ビサイ サンジゲン カコウ ケイジョウ ノ ヒカリ ギャクサンラン ナノインプロセス ケイソク ソウチ ノ カイハツ
著者・編者
三好, 隆志, 大阪大学
著者標目
三好, 隆志 ミヨシ, タカシ
出版年月日等
1999-2000
出版年(W3CDTF)
1999
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
逆散乱 ギヤクサンラン
位相回復 イソウカイフク
フーリエ変換 フーリエヘンカン
ナノインプロセス計測 ナノインプロセスケイソク
微細形状計測 ビサイケイジヨウケイソク
マイクロ加工計測 マイクロカコウケイソク
レーザー応用計測 レーザーオウヨウケイソク