微細三次元加工形状の光逆散乱ナノインプロセス計測装置の開発

• Material Type: 図書
• Title: 微細三次元加工形状の光逆散乱ナノインプロセス計測装置の開発
• Title Transcription: ビサイ サンジゲン カコウ ケイジョウ ノ ヒカリ ギャクサンラン ナノインプロセス ケイソク ソウチ ノ カイハツ
• Author/Editor: 三好, 隆志, 大阪大学
• Author Heading: 三好, 隆志 ミヨシ, タカシ
• Publication Date: 1999-2000
• Publication Date (W3CDTF): 1999
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: 逆散乱 ギヤクサンラン; 位相回復 イソウカイフク; フーリエ変換 フーリエヘンカン; ナノインプロセス計測 ナノインプロセスケイソク; 微細形状計測 ビサイケイジヨウケイソク; マイクロ加工計測 マイクロカコウケイソク; レーザー応用計測 レーザーオウヨウケイソク
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11555043
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H11555043
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007073220; http://id.ndl.go.jp/bib/000007073220
• Bibliographic Record Category (NDL): 214