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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- キョウ ユウデンタイ ハクマク ノ テイオン MOCVD ギジュツ ノ カイハツ
- 著者・編者
- 徳光, 永輔, 東京工業大学
- 著者標目
- 徳光, 永輔 トクミツ, エイスケ
- 出版年月日等
- 1999-2000
- 出版年（W3CDTF）
- 1999
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(B)
- 件名標目
- 強誘電体メモリ キヨウユウデンタイメモリSrBi2Ta2O9 SRBI2TA2O9有機金属気相成長法 (MOCVD) ユウキキンゾクキソウセイチヨウホウ (MOCVD)酸素プラズマ サンソプラズマ