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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title
- Title Transcription
- キョウ ユウデンタイ ハクマク ノ テイオン MOCVD ギジュツ ノ カイハツ
- Author/Editor
- 徳光, 永輔, 東京工業大学
- Author Heading
- 徳光, 永輔 トクミツ, エイスケ
- Publication Date
- 1999-2000
- Publication Date (W3CDTF)
- 1999
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(B)
- Subject Heading
- 強誘電体メモリ キヨウユウデンタイメモリSrBi2Ta2O9 SRBI2TA2O9有機金属気相成長法 (MOCVD) ユウキキンゾクキソウセイチヨウホウ (MOCVD)酸素プラズマ サンソプラズマ