強誘電体薄膜の低温MOCVD技術の開発

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Material Type: 図書
Title: 強誘電体薄膜の低温MOCVD技術の開発
Title Transcription: キョウユウデンタイハクマクノテイオン MOCVD ギジュツノカイハツ
Author/Editor: 徳光, 永輔, 東京工業大学
Author Heading: 徳光, 永輔トクミツ, エイスケ
Publication Date: 1999-2000
Publication Date (W3CDTF): 1999
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: 強誘電体メモリキヨウユウデンタイメモリ
SrBi2Ta2O9 SRBI2TA2O9
有機金属気相成長法 (MOCVD) ユウキキンゾクキソウセイチヨウホウ (MOCVD)
酸素プラズマサンソプラズマ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11555085
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H11555085
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007073239
http://id.ndl.go.jp/bib/000007073239
Bibliographic Record Category (NDL): 214