不純物制御雰囲気スパツタ法で作製した人工格子型高感度薄膜磁気センサーの開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 不純物制御雰囲気スパツタ法で作製した人工格子型高感度薄膜磁気センサーの開発
• タイトルよみ: フジュンブツ セイギョ フンイキ スパツタホウ デ サクセイ シタ ジンコウ ゴウシガタ コウカンド ハクマク ジキ センサー ノ カイハツ
• 著者・編者: 角田, 匡清, 東北大学
• 著者標目: 角田, 匡清 ツノダ, マサキヨ
• 出版年月日等: 1999-2000
• 出版年（W3CDTF）: 1999
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: 人工格子 ジンコウコウシ; 薄膜 ハクマク; 磁気抵抗効果 ジキテイコウコウカ; センサー センサー; 不純物ガス フジユンブツガス; 極高真空 キヨクコウシンクウ; スパツタリング スパツタリング
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 11555105
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H11555105
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007073247; http://id.ndl.go.jp/bib/000007073247
• 整理区分コード: 214