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不純物制御雰囲気スパツタ法で作製した人工格子型高感度薄膜磁気センサーの開発

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不純物制御雰囲気スパツタ法で作製した人工格子型高感度薄膜磁気センサーの開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H11555105
国立国会図書館書誌ID
000007073247
資料種別
図書
著者
角田, 匡清, 東北大学
出版者
-
出版年
1999-2000
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
フジュンブツ セイギョ フンイキ スパツタホウ デ サクセイ シタ ジンコウ ゴウシガタ コウカンド ハクマク ジキ センサー ノ カイハツ
著者・編者
角田, 匡清, 東北大学
著者標目
角田, 匡清 ツノダ, マサキヨ
出版年月日等
1999-2000
出版年(W3CDTF)
1999
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
人工格子 ジンコウコウシ
薄膜 ハクマク
磁気抵抗効果 ジキテイコウコウカ
センサー センサー
不純物ガス フジユンブツガス
極高真空 キヨクコウシンクウ
スパツタリング スパツタリング