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不純物制御雰囲気スパツタ法で作製した人工格子型高感度薄膜磁気センサーの開発

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不純物制御雰囲気スパツタ法で作製した人工格子型高感度薄膜磁気センサーの開発

Call No. (NDL)
Y151-H11555105
Bibliographic ID of National Diet Library
000007073247
Material type
図書
Author
角田, 匡清, 東北大学
Publisher
-
Publication date
1999-2000
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
フジュンブツ セイギョ フンイキ スパツタホウ デ サクセイ シタ ジンコウ ゴウシガタ コウカンド ハクマク ジキ センサー ノ カイハツ
Author/Editor
角田, 匡清, 東北大学
Author Heading
角田, 匡清 ツノダ, マサキヨ
Publication Date
1999-2000
Publication Date (W3CDTF)
1999
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
人工格子 ジンコウコウシ
薄膜 ハクマク
磁気抵抗効果 ジキテイコウコウカ
センサー センサー
不純物ガス フジユンブツガス
極高真空 キヨクコウシンクウ
スパツタリング スパツタリング