赤外光弾性法を用いた半導体結晶中の格子欠陥内部応力その場観察法の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 赤外光弾性法を用いた半導体結晶中の格子欠陥内部応力その場観察法の開発
• タイトルよみ: セキガイ ヒカリダンセイホウ オ モチイタ ハンドウタイ ケッショウ チュウ ノ コウシ ケッカン ナイブ オウリョク ソノ バ カンサツホウ ノ カイハツ
• 著者・編者: 東田賢二, 九州大学
• 著者標目: 東田, 賢二 ヒガシダ, ケンジ
• 出版年月日等: 1999-2000
• 出版年（W3CDTF）: 1999; 2000
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: 赤外線 セキガイセン; 光弾性 コウダンセイ; シリコン シリコン; 格子欠陥 コウシケツカン; 転位 テンイ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 11555162
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H11555162
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007073270; http://id.ndl.go.jp/bib/000007073270
• 整理区分コード: 214