赤外光弾性法を用いた半導体結晶中の格子欠陥内部応力その場観察法の開発

• Material Type: 図書
• Title: 赤外光弾性法を用いた半導体結晶中の格子欠陥内部応力その場観察法の開発
• Title Transcription: セキガイ ヒカリダンセイホウ オ モチイタ ハンドウタイ ケッショウ チュウ ノ コウシ ケッカン ナイブ オウリョク ソノ バ カンサツホウ ノ カイハツ
• Author/Editor: 東田賢二, 九州大学
• Author Heading: 東田, 賢二 ヒガシダ, ケンジ
• Publication Date: 1999-2000
• Publication Date (W3CDTF): 1999; 2000
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: 赤外線 セキガイセン; 光弾性 コウダンセイ; シリコン シリコン; 格子欠陥 コウシケツカン; 転位 テンイ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11555162
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H11555162
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007073270; http://id.ndl.go.jp/bib/000007073270
• Bibliographic Record Category (NDL): 214