高機能インバータープラズマの技術開発と金属表面の低摩擦化研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 高機能インバータープラズマの技術開発と金属表面の低摩擦化研究
• タイトルよみ: コウキノウ インバータープラズマ ノ ギジュツ カイハツ ト キンゾク ヒョウメン ノ テイマサツカ ケンキュウ
• 著者・編者: 後藤, 誠一, 大阪大学
• 著者標目: 後藤, 誠一 ゴトウ, セイイチ
• 出版年月日等: 1999-2000
• 出版年（W3CDTF）: 1999
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: 表面処理技術 ヒヨウメンシヨリギジユツ; プロセスプラズマ プロセスプラズマ; 低摩擦膜 テイマサツマク; インバーター インバーター; ダイヤモンド薄膜 ダイヤモンドハクマク; トライボロジー トライボロジー; パルスグロー パルスグロー; イオンアシスト イオンアシスト
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 11558053
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H11558053
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007073427; http://id.ndl.go.jp/bib/000007073427
• 整理区分コード: 214