高機能インバータープラズマの技術開発と金属表面の低摩擦化研究

• Material Type: 図書
• Title: 高機能インバータープラズマの技術開発と金属表面の低摩擦化研究
• Title Transcription: コウキノウ インバータープラズマ ノ ギジュツ カイハツ ト キンゾク ヒョウメン ノ テイマサツカ ケンキュウ
• Author/Editor: 後藤, 誠一, 大阪大学
• Author Heading: 後藤, 誠一 ゴトウ, セイイチ
• Publication Date: 1999-2000
• Publication Date (W3CDTF): 1999
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: 表面処理技術 ヒヨウメンシヨリギジユツ; プロセスプラズマ プロセスプラズマ; 低摩擦膜 テイマサツマク; インバーター インバーター; ダイヤモンド薄膜 ダイヤモンドハクマク; トライボロジー トライボロジー; パルスグロー パルスグロー; イオンアシスト イオンアシスト
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11558053
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H11558053
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007073427; http://id.ndl.go.jp/bib/000007073427
• Bibliographic Record Category (NDL): 214