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図書
薄膜堆積法によるX線光学素子用非球面形状の創製
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薄膜堆積法によるX線光学素子用非球面形状の創製
国立国会図書館請求記号
Y151-H11650049
国立国会図書館書誌ID
000007074833
資料種別
図書
著者
新部, 正人, 姫路工業大学
出版者
-
出版年
1999-2001
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記
一般注記:
文部省科学研究費補助金研究成果報告書
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紙
資料種別
図書
タイトル
薄膜堆積法によるX線光学素子用非球面形状の創製
タイトルよみ
ハクマク タイセキホウ ニ ヨル Xセン コウガク ソシヨウ ヒキュウメン ケイジョウ ノ ソウセイ
著者・編者
新部, 正人, 姫路工業大学
著者標目
新部, 正人
ニイベ, マサヒト
出版年月日等
1999-2001
出版年(W3CDTF)
1999
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
軟X線
ナンXセン
光学素子
コウガクソシ
非球面
ヒキユウメン
薄膜
ハクマク
多層膜
タソウマク
リソグラフイ
リソグラフイ
点回折干渉法
テンカイセツカンシヨウホウ
波面収差
ハメンシユウサ
NDLC
Y151
一般注記
文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号
11650049
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
Y151-H11650049
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID(NDLBibID)
000007074833
http://id.ndl.go.jp/bib/000007074833
整理区分コード
214
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