薄膜堆積法によるX線光学素子用非球面形状の創製

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Material Type: 図書
Title: 薄膜堆積法によるX線光学素子用非球面形状の創製
Title Transcription: ハクマクタイセキホウニヨル Xセンコウガクソシヨウヒキュウメンケイジョウノソウセイ
Author/Editor: 新部, 正人, 姫路工業大学
Author Heading: 新部, 正人ニイベ, マサヒト
Publication Date: 1999-2001
Publication Date (W3CDTF): 1999
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: 軟X線ナンXセン
光学素子コウガクソシ
非球面ヒキユウメン
薄膜ハクマク
多層膜タソウマク
リソグラフイリソグラフイ
点回折干渉法テンカイセツカンシヨウホウ
波面収差ハメンシユウサ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11650049
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H11650049
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007074833
http://id.ndl.go.jp/bib/000007074833
Bibliographic Record Category (NDL): 214