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窒化ガリウムに対する絶縁ゲート構造の形成と界面特性評価に関する研究

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窒化ガリウムに対する絶縁ゲート構造の形成と界面特性評価に関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H11650309
国立国会図書館書誌ID
000007074896
資料種別
図書
著者
橋詰, 保, 北海道大学
出版者
-
出版年
1999-2001
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
チッカ ガリウム ニ タイスル ゼツエン ゲート コウゾウ ノ ケイセイ ト カイメン トクセイ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
橋詰, 保, 北海道大学
著者標目
橋詰, 保 ハシヅメ, タモツ
出版年月日等
1999-2001
出版年(W3CDTF)
1999
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
GaN GAN
表面制御 ヒヨウメンセイギヨ
界面制御 カイメンセイギヨ
MIS接合 MISセツゴウ
フエルミ準位ピンニング フエルミジユンイピンニング
表面処理 ヒヨウメンシヨリ
自然酸化膜 シゼンサンカマク
ECRプラズマ ECRプラズマ