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窒化ガリウムに対する絶縁ゲート構造の形成と界面特性評価に関する研究

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窒化ガリウムに対する絶縁ゲート構造の形成と界面特性評価に関する研究

Call No. (NDL)
Y151-H11650309
Bibliographic ID of National Diet Library
000007074896
Material type
図書
Author
橋詰, 保, 北海道大学
Publisher
-
Publication date
1999-2001
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
チッカ ガリウム ニ タイスル ゼツエン ゲート コウゾウ ノ ケイセイ ト カイメン トクセイ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
橋詰, 保, 北海道大学
Author Heading
橋詰, 保 ハシヅメ, タモツ
Publication Date
1999-2001
Publication Date (W3CDTF)
1999
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
GaN GAN
表面制御 ヒヨウメンセイギヨ
界面制御 カイメンセイギヨ
MIS接合 MISセツゴウ
フエルミ準位ピンニング フエルミジユンイピンニング
表面処理 ヒヨウメンシヨリ
自然酸化膜 シゼンサンカマク
ECRプラズマ ECRプラズマ