InSb MISFETのソース・ドレイン構造に関する研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: InSb MISFETのソース・ドレイン構造に関する研究
• タイトルよみ: InSb MISFET ノ ソース ・ ドレイン コウゾウ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 杉浦, 修, 東京工業大学
• 著者標目: 杉浦, 修 スギウラ, オサム
• 出版年月日等: 1999-2000
• 出版年（W3CDTF）: 1999
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: InSb INSB; ドナードーピング ドナードーピング; 硫黄 イオウ; p-nダイオード P-Nダイオード; 光照射アニール ヒカリシヨウシヤアニール
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 11650316
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H11650316
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007074897; http://id.ndl.go.jp/bib/000007074897
• 整理区分コード: 214