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InSb MISFETのソース・ドレイン構造に関する研究

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InSb MISFETのソース・ドレイン構造に関する研究

Call No. (NDL)
Y151-H11650316
Bibliographic ID of National Diet Library
000007074897
Material type
図書
Author
杉浦, 修, 東京工業大学
Publisher
-
Publication date
1999-2000
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
InSb MISFET ノ ソース ・ ドレイン コウゾウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
杉浦, 修, 東京工業大学
Author Heading
杉浦, 修 スギウラ, オサム
Publication Date
1999-2000
Publication Date (W3CDTF)
1999
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
InSb INSB
ドナードーピング ドナードーピング
硫黄 イオウ
p-nダイオード P-Nダイオード
光照射アニール ヒカリシヨウシヤアニール