閾値イオン化質量分析診断にもとづく超硬質窒化炭素結晶膜設計指針の確立

• 資料種別: 図書
• タイトル: 閾値イオン化質量分析診断にもとづく超硬質窒化炭素結晶膜設計指針の確立
• タイトルよみ: シキイチ イオンカ シツリョウ ブンセキ シンダン ニ モトヅク チョウコウシツ チッカ タンソ ケッショウマク セッケイ シシン ノ カクリツ
• 著者・編者: 伊藤, 治彦, 長岡技術科学大学
• 著者標目: 伊藤, 治彦 イトウ, ハルヒコ
• 出版年月日等: 1999-2001
• 出版年（W3CDTF）: 1999
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: アモルフアスCN膜 アモルフアスCNマク; マイクロ波プラズマCVD マイクロハプラズマCVD; ECRプラズマCVD ECRプラズマCVD; CNラジカル CNラジカル; 高分解能発光スペクトル コウブンカイノウハツコウスペクトル; プラズマ診断 プラズマシンダン; 高周波バイアス コウシユウハバイアス; 炭素材料 タンソザイリヨウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 11650760
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H11650760
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007075010; http://id.ndl.go.jp/bib/000007075010
• 整理区分コード: 214