閾値イオン化質量分析診断にもとづく超硬質窒化炭素結晶膜設計指針の確立

• Material Type: 図書
• Title: 閾値イオン化質量分析診断にもとづく超硬質窒化炭素結晶膜設計指針の確立
• Title Transcription: シキイチ イオンカ シツリョウ ブンセキ シンダン ニ モトヅク チョウコウシツ チッカ タンソ ケッショウマク セッケイ シシン ノ カクリツ
• Author/Editor: 伊藤, 治彦, 長岡技術科学大学
• Author Heading: 伊藤, 治彦 イトウ, ハルヒコ
• Publication Date: 1999-2001
• Publication Date (W3CDTF): 1999
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: アモルフアスCN膜 アモルフアスCNマク; マイクロ波プラズマCVD マイクロハプラズマCVD; ECRプラズマCVD ECRプラズマCVD; CNラジカル CNラジカル; 高分解能発光スペクトル コウブンカイノウハツコウスペクトル; プラズマ診断 プラズマシンダン; 高周波バイアス コウシユウハバイアス; 炭素材料 タンソザイリヨウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11650760
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H11650760
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007075010; http://id.ndl.go.jp/bib/000007075010
• Bibliographic Record Category (NDL): 214