本文に飛ぶ

図書

酸化物の反応性スパツタリング過程に関する研究

図書を表すアイコン

酸化物の反応性スパツタリング過程に関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H11680488
国立国会図書館書誌ID
000007075878
資料種別
図書
著者
松田, 良信, 長崎大学
出版者
-
出版年
1999-2001
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
すべて見る

資料に関する注記

一般注記：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

書店で探す

書店で探す

書店で探す

書誌情報

この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。

紙

資料種別
図書
タイトル
酸化物の反応性スパツタリング過程に関する研究
タイトルよみ
サンカブツ ノ ハンノウセイ スパツタリング カテイ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
松田, 良信, 長崎大学
著者標目
松田, 良信 マツダ, ヨシノブ
出版年月日等
1999-2001
出版年（W3CDTF）
1999
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
反応性スパツタリング ハンノウセイスパツタリング
酸化物薄膜 サンカブツハクマク
MgO MGO
金属モード キンゾクモード
酸化物モード サンカブツモード
ヒステリシス ヒステリシス
マグネトロン マグネトロン
二次電子放出係数 ニジデンシホウシユツケイスウ