酸化物の反応性スパツタリング過程に関する研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 酸化物の反応性スパツタリング過程に関する研究
• タイトルよみ: サンカブツ ノ ハンノウセイ スパツタリング カテイ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 松田, 良信, 長崎大学
• 著者標目: 松田, 良信 マツダ, ヨシノブ
• 出版年月日等: 1999-2001
• 出版年（W3CDTF）: 1999
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: 反応性スパツタリング ハンノウセイスパツタリング; 酸化物薄膜 サンカブツハクマク; MgO MGO; 金属モード キンゾクモード; 酸化物モード サンカブツモード; ヒステリシス ヒステリシス; マグネトロン マグネトロン; 二次電子放出係数 ニジデンシホウシユツケイスウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 11680488
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H11680488
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007075878; http://id.ndl.go.jp/bib/000007075878
• 整理区分コード: 214