酸化物の反応性スパツタリング過程に関する研究

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Material Type: 図書
Title: 酸化物の反応性スパツタリング過程に関する研究
Title Transcription: サンカブツノハンノウセイスパツタリングカテイニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 松田, 良信, 長崎大学
Author Heading: 松田, 良信マツダ, ヨシノブ
Publication Date: 1999-2001
Publication Date (W3CDTF): 1999
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: 反応性スパツタリングハンノウセイスパツタリング
酸化物薄膜サンカブツハクマク
MgO MGO
金属モードキンゾクモード
酸化物モードサンカブツモード
ヒステリシスヒステリシス
マグネトロンマグネトロン
二次電子放出係数ニジデンシホウシユツケイスウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11680488
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H11680488
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007075878
http://id.ndl.go.jp/bib/000007075878
Bibliographic Record Category (NDL): 214