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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ヒョウメン ハンノウ セイギョヨウ コウヒンシツ チュウセイ ラジカルビーム ノ セイセイ ギジュツ ノ カイハツ
- 著者・編者
- 林, 啓治, 金沢工業大学
- 著者標目
- 林, 啓治 ハヤシ, ケイジ
- 出版年月日等
- 2000-2001
- 出版年（W3CDTF）
- 2000
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)
- 件名標目
- 中性フリーラジカルビーム チユウセイフリーラジカルビーム半導体デバイスプロセス ハンドウタイデバイスプロセス負イオンビーム フイオンビームレーザー光励起 レーザーコウレイキ表面素過程制御 ヒヨウメンソカテイセイギヨ化学物理 カガクブツリab initio分子軌道法 ABINITIOブンシキドウホウ反応設計 ハンノウセツケイ