表面反応制御用高品質中性ラジカルビームの生成技術の開発

Notes on use

Search by Bookstore

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Material Type: 図書
Title: 表面反応制御用高品質中性ラジカルビームの生成技術の開発
Title Transcription: ヒョウメンハンノウセイギョヨウコウヒンシツチュウセイラジカルビームノセイセイギジュツノカイハツ
Author/Editor: 林, 啓治, 金沢工業大学
Author Heading: 林, 啓治ハヤシ, ケイジ
Publication Date: 2000-2001
Publication Date (W3CDTF): 2000
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: 中性フリーラジカルビームチユウセイフリーラジカルビーム
半導体デバイスプロセスハンドウタイデバイスプロセス
負イオンビームフイオンビーム
レーザー光励起レーザーコウレイキ
表面素過程制御ヒヨウメンソカテイセイギヨ
化学物理カガクブツリ
ab initio分子軌道法 ABINITIOブンシキドウホウ
反応設計ハンノウセツケイ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 12640396
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H12640396
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007076472
http://id.ndl.go.jp/bib/000007076472
Bibliographic Record Category (NDL): 214