有機ケイ素を用いたSiCエピタキシヤル成長の表面化学

• 資料種別: 図書
• タイトル: 有機ケイ素を用いたSiCエピタキシヤル成長の表面化学
• タイトルよみ: ユウキ ケイソ オ モチイタ SiC エピタキシヤル セイチョウ ノ ヒョウメン カガク
• 著者・編者: 末光, 眞希, 東北大学
• 著者標目: 著者 ： 末光, 眞希 スエミツ, マキ ( 01077130 )典拠
• 出版年月日等: 2000-2001
• 出版年（W3CDTF）: 2000
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: 炭化ケイ素 タンカケイソ; SiC SIC; ガスソースMBE ガスソースMBE; ヘテロエピタキシー ヘテロエピタキシー; モノメチルシラン モノメチルシラン; 有機ケイ素 ユウキケイソ; 表面化学 ヒヨウメンカガク; 「その場」表面評価 「ソノバ」ヒヨウメンヒヨウカ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 12650025
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H12650025
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007076663; http://id.ndl.go.jp/bib/000007076663
• 整理区分コード: 214