有機ケイ素を用いたSiCエピタキシヤル成長の表面化学

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Material Type: 図書
Title: 有機ケイ素を用いたSiCエピタキシヤル成長の表面化学
Title Transcription: ユウキケイソオモチイタ SiC エピタキシヤルセイチョウノヒョウメンカガク
Author/Editor: 末光, 眞希, 東北大学
Author Heading: 著者：末光, 眞希スエミツ, マキ ( 01077130 )Authorities
Publication Date: 2000-2001
Publication Date (W3CDTF): 2000
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: 炭化ケイ素タンカケイソ
SiC SIC
ガスソースMBE ガスソースMBE
ヘテロエピタキシーヘテロエピタキシー
モノメチルシランモノメチルシラン
有機ケイ素ユウキケイソ
表面化学ヒヨウメンカガク
「その場」表面評価「ソノバ」ヒヨウメンヒヨウカ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 12650025
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H12650025
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007076663
http://id.ndl.go.jp/bib/000007076663
Bibliographic Record Category (NDL): 214