超低速イオンビーム蒸着によるSi表面低次元相形成とエピタキシーの研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 超低速イオンビーム蒸着によるSi表面低次元相形成とエピタキシーの研究
• タイトルよみ: チョウテイソク イオンビーム ジョウチャク ニ ヨル Si ヒョウメン テイジゲンソウ ケイセイ ト エピタキシー ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 生地, 文也, 九州共立大学
• 著者標目: 生地, 文也 ショウジ, フミヤ
• 出版年月日等: 2000-2001
• 出版年（W3CDTF）: 2000
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: イオン蒸着 イオンジヨウチヤク; エピタキシー エピタキシー; 表面構造 ヒヨウメンコウゾウ; イオンー表面相互作用 イオンーヒヨウメンソウゴサヨウ; イオン散乱 イオンサンラン; 薄膜成長 ハクマクセイチヨウ; 荷電粒子 カデンリユウシ; イオンビーム イオンビーム
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 12650033
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H12650033
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007076671; http://id.ndl.go.jp/bib/000007076671
• 整理区分コード: 214