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超低速イオンビーム蒸着によるSi表面低次元相形成とエピタキシーの研究

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超低速イオンビーム蒸着によるSi表面低次元相形成とエピタキシーの研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H12650033
国立国会図書館書誌ID
000007076671
資料種別
図書
著者
生地, 文也, 九州共立大学
出版者
-
出版年
2000-2001
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
チョウテイソク イオンビーム ジョウチャク ニ ヨル Si ヒョウメン テイジゲンソウ ケイセイ ト エピタキシー ノ ケンキュウ
著者・編者
生地, 文也, 九州共立大学
著者標目
生地, 文也 ショウジ, フミヤ
出版年月日等
2000-2001
出版年(W3CDTF)
2000
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
イオン蒸着 イオンジヨウチヤク
エピタキシー エピタキシー
表面構造 ヒヨウメンコウゾウ
イオンー表面相互作用 イオンーヒヨウメンソウゴサヨウ
イオン散乱 イオンサンラン
薄膜成長 ハクマクセイチヨウ
荷電粒子 カデンリユウシ
イオンビーム イオンビーム