非平衡マグネトロンスパツタリング法による強磁性形状記憶合金薄膜の作製

• 資料種別: 図書
• タイトル: 非平衡マグネトロンスパツタリング法による強磁性形状記憶合金薄膜の作製
• タイトルよみ: ヒヘイコウ マグネトロンスパツタリングホウ ニ ヨル キョウジセイ ケイジョウ キオク ゴウキン ハクマク ノ サクセイ
• 著者・編者: 小寺澤, 啓司, 姫路工業大学
• 著者標目: 小寺澤, 啓司 コテラザワ, ケイジ
• 出版年月日等: 2000-2001
• 出版年（W3CDTF）: 2000
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: 強磁性形状記憶合金 キヨウジセイケイジヨウキオクゴウキン; 薄膜 ハクマク; スパツタリング スパツタリング; 組成制御 ソセイセイギヨ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 12650093
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H12650093
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007076710; http://id.ndl.go.jp/bib/000007076710
• 整理区分コード: 214