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非平衡マグネトロンスパツタリング法による強磁性形状記憶合金薄膜の作製

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非平衡マグネトロンスパツタリング法による強磁性形状記憶合金薄膜の作製

Call No. (NDL)
Y151-H12650093
Bibliographic ID of National Diet Library
000007076710
Material type
図書
Author
小寺澤, 啓司, 姫路工業大学
Publisher
-
Publication date
2000-2001
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ヒヘイコウ マグネトロンスパツタリングホウ ニ ヨル キョウジセイ ケイジョウ キオク ゴウキン ハクマク ノ サクセイ
Author/Editor
小寺澤, 啓司, 姫路工業大学
Author Heading
小寺澤, 啓司 コテラザワ, ケイジ
Publication Date
2000-2001
Publication Date (W3CDTF)
2000
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
強磁性形状記憶合金 キヨウジセイケイジヨウキオクゴウキン
薄膜 ハクマク
スパツタリング スパツタリング
組成制御 ソセイセイギヨ