マイクロ部品の形状・寸法測定用光学式微小プローブの開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: マイクロ部品の形状・寸法測定用光学式微小プローブの開発
• タイトルよみ: マイクロ ブヒン ノ ケイジョウ ・ スンポウ ソクテイヨウ コウガクシキ ビショウ プローブ ノ カイハツ
• 著者・編者: 三井, 公之, 慶應義塾大学
• 著者標目: 三井, 公之 ミツイ, キミユキ
• 出版年月日等: 2000-2001
• 出版年（W3CDTF）: 2000
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: マイクロ部品計測 マイクロブヒンケイソク; 光学式プローブ コウガクシキプローブ; 光計測 ヒカリケイソク; マイクロマシン技術 マイクロマシンギジユツ; 光フアイバー ヒカリフアイバー
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 12650121
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H12650121
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007076729; http://id.ndl.go.jp/bib/000007076729
• 整理区分コード: 214