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マイクロ部品の形状・寸法測定用光学式微小プローブの開発

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マイクロ部品の形状・寸法測定用光学式微小プローブの開発

Call No. (NDL)
Y151-H12650121
Bibliographic ID of National Diet Library
000007076729
Material type
図書
Author
三井, 公之, 慶應義塾大学
Publisher
-
Publication date
2000-2001
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
マイクロ ブヒン ノ ケイジョウ ・ スンポウ ソクテイヨウ コウガクシキ ビショウ プローブ ノ カイハツ
Author/Editor
三井, 公之, 慶應義塾大学
Author Heading
三井, 公之 ミツイ, キミユキ
Publication Date
2000-2001
Publication Date (W3CDTF)
2000
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
マイクロ部品計測 マイクロブヒンケイソク
光学式プローブ コウガクシキプローブ
光計測 ヒカリケイソク
マイクロマシン技術 マイクロマシンギジユツ
光フアイバー ヒカリフアイバー