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環境にやさしい次世代ドライポリシング法に関する研究

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環境にやさしい次世代ドライポリシング法に関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H12650122
国立国会図書館書誌ID
000007076730
資料種別
図書
著者
安永, 暢男, 東海大学
出版者
-
出版年
2000-2001
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
カンキョウ ニ ヤサシイ ジセダイ ドライポリシングホウ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
安永, 暢男, 東海大学
著者標目
著者 : 安永, 暢男, 1942- ヤスナガ, ノブオ, 1942- ( 00219710 )典拠
出版年月日等
2000-2001
出版年(W3CDTF)
2000
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
メカノケミカルポリシング メカノケミカルポリシング
クリーン研磨技術 クリーンケンマギジユツ
ドライ研磨 ドライケンマ
定圧研磨装置 テイアツケンマソウチ
シリコンウエハ シリコンウエハ
砥石研磨 トイシケンマ
BaCO3砥石 BACO3トイシ