環境にやさしい次世代ドライポリシング法に関する研究

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Material Type: 図書
Title: 環境にやさしい次世代ドライポリシング法に関する研究
Title Transcription: カンキョウニヤサシイジセダイドライポリシングホウニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 安永, 暢男, 東海大学
Author Heading: 著者：安永, 暢男, 1942- ヤスナガ, ノブオ, 1942- ( 00219710 )Authorities
Publication Date: 2000-2001
Publication Date (W3CDTF): 2000
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: メカノケミカルポリシングメカノケミカルポリシング
クリーン研磨技術クリーンケンマギジユツ
ドライ研磨ドライケンマ
定圧研磨装置テイアツケンマソウチ
シリコンウエハシリコンウエハ
砥石研磨トイシケンマ
BaCO3砥石 BACO3トイシ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 12650122
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H12650122
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007076730
http://id.ndl.go.jp/bib/000007076730
Bibliographic Record Category (NDL): 214