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高真空チヤンバ内高速・高精度非接触位置決め機構用静圧空気軸受の開発

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高真空チヤンバ内高速・高精度非接触位置決め機構用静圧空気軸受の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H12650147
国立国会図書館書誌ID
000007076750
資料種別
図書
著者
吉本, 成香, 東京理科大学
出版者
-
出版年
2000-2001
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
コウシンクウ チヤンバ ナイ コウソク ・ コウセイド ヒセッショク イチギメ キコウヨウ セイアツ クウキ ジクウケ ノ カイハツ
著者・編者
吉本, 成香, 東京理科大学
著者標目
著者 : 吉本, 成香 ヨシモト, シゲカ ( 00934213 )典拠
出版年月日等
2000-2001
出版年(W3CDTF)
2000
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
静圧空気軸受 セイアツクウキジクウケ
高真空 コウシンクウ
位置決め機構 イチギメキコウ
非接触案内 ヒセツシヨクアンナイ
シール性能 シールセイノウ