高真空チヤンバ内高速・高精度非接触位置決め機構用静圧空気軸受の開発

Notes on use

Search by Bookstore

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Material Type: 図書
Title: 高真空チヤンバ内高速・高精度非接触位置決め機構用静圧空気軸受の開発
Title Transcription: コウシンクウチヤンバナイコウソク・コウセイドヒセッショクイチギメキコウヨウセイアツクウキジクウケノカイハツ
Author/Editor: 吉本, 成香, 東京理科大学
Author Heading: 著者：吉本, 成香ヨシモト, シゲカ ( 00934213 )Authorities
Publication Date: 2000-2001
Publication Date (W3CDTF): 2000
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: 静圧空気軸受セイアツクウキジクウケ
高真空コウシンクウ
位置決め機構イチギメキコウ
非接触案内ヒセツシヨクアンナイ
シール性能シールセイノウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 12650147
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H12650147
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007076750
http://id.ndl.go.jp/bib/000007076750
Bibliographic Record Category (NDL): 214