高真空チヤンバ内高速・高精度非接触位置決め機構用静圧空気軸受の開発

• Material Type: 図書
• Title: 高真空チヤンバ内高速・高精度非接触位置決め機構用静圧空気軸受の開発
• Title Transcription: コウシンクウ チヤンバ ナイ コウソク ・ コウセイド ヒセッショク イチギメ キコウヨウ セイアツ クウキ ジクウケ ノ カイハツ
• Author/Editor: 吉本, 成香, 東京理科大学
• Author Heading: 著者 ： 吉本, 成香 ヨシモト, シゲカ ( 00934213 )Authorities
• Publication Date: 2000-2001
• Publication Date (W3CDTF): 2000
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: 静圧空気軸受 セイアツクウキジクウケ; 高真空 コウシンクウ; 位置決め機構 イチギメキコウ; 非接触案内 ヒセツシヨクアンナイ; シール性能 シールセイノウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 12650147
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H12650147
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007076750; http://id.ndl.go.jp/bib/000007076750
• Bibliographic Record Category (NDL): 214