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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- シリコン キバン ジョウ ニ カイメン セイギョ シテ ケイセイ シタ タンケッショウ キョウ ユウデンタイ ハクマク ノ サクセイ
- 著者・編者
- 堀田, 將, 北陸先端科学技術大学院大学
- 著者標目
- 堀田, 將 ホリタ, フスム
- 出版年月日等
- 2000-2001
- 出版年（W3CDTF）
- 2000
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)
- 件名標目
- イツトリア安定化ジルコニア イツトリアアンテイカジルコニアYSZ YSZ反応性スパツタ ハンノウセイスパツタシリコン シリコンSi SIヘシロエピタオシヤル ヘシロエピタオシヤル誘電率 ユウデンリツ