シリコン基板上に界面制御して形成した単結晶強誘電体薄膜の作製

• Material Type: 図書
• Title: シリコン基板上に界面制御して形成した単結晶強誘電体薄膜の作製
• Title Transcription: シリコン キバン ジョウ ニ カイメン セイギョ シテ ケイセイ シタ タンケッショウ キョウ ユウデンタイ ハクマク ノ サクセイ
• Author/Editor: 堀田, 將, 北陸先端科学技術大学院大学
• Author Heading: 堀田, 將 ホリタ, フスム
• Publication Date: 2000-2001
• Publication Date (W3CDTF): 2000
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: イツトリア安定化ジルコニア イツトリアアンテイカジルコニア; YSZ YSZ; 反応性スパツタ ハンノウセイスパツタ; シリコン シリコン; Si SI; ヘシロエピタオシヤル ヘシロエピタオシヤル; 誘電率 ユウデンリツ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 12650305
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H12650305
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007076856; http://id.ndl.go.jp/bib/000007076856
• Bibliographic Record Category (NDL): 214