シリコン基板上に界面制御して形成した単結晶強誘電体薄膜の作製

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Material Type: 図書
Title: シリコン基板上に界面制御して形成した単結晶強誘電体薄膜の作製
Title Transcription: シリコンキバンジョウニカイメンセイギョシテケイセイシタタンケッショウキョウユウデンタイハクマクノサクセイ
Author/Editor: 堀田, 將, 北陸先端科学技術大学院大学
Author Heading: 堀田, 將ホリタ, フスム
Publication Date: 2000-2001
Publication Date (W3CDTF): 2000
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: イツトリア安定化ジルコニアイツトリアアンテイカジルコニア
YSZ YSZ
反応性スパツタハンノウセイスパツタ
シリコンシリコン
Si SI
ヘシロエピタオシヤルヘシロエピタオシヤル
誘電率ユウデンリツ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 12650305
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H12650305
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007076856
http://id.ndl.go.jp/bib/000007076856
Bibliographic Record Category (NDL): 214